6、海洋环境参量传感器与海洋观测仪器

首先，针对海洋动力环境集成测量问题，课题组主要开展海洋环境多参量传感测量机理及传感器建模、海洋环境多参量MEMS集成传感器微结构设计与仿真、MEMS集成传感器微结构制备工艺设计、信号处理、封装等关键技术研究，目标是研发海洋动力环境集成测量传感器原型器件。

其次，课题组还开展海洋湍流剖面仪、水下无人潜航器设计与制造工作，目前已开发有混合矩阵式湍流剖面仪和水下无人矢量推进的系列化多型号潜航器。课题组致力于采用先进的MEMS技术，实现温、盐、深、浪潮流等环境参量传感器的一体化集成，结合自主化研发的水下无人潜航器开展海洋观测试验验证，进行大面积推广，提高海洋观测的智能化和高效化。